轴向磁场下感应耦合放电模式转换的实验研究

• 作者: 李益文 罗思海 赵伟灼 马旺 魏小龙
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 感应耦合等离子体 轴向磁场 模式转换 阻抗分析 电子密度
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 32-37
• 页数: 6页
• 分类号: O539
• 字数: 4104字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201931.180325

摘要

为探究轴向磁场对纯Ar感应耦合等离子体放电模式转换的影响,设计并搭建一整套等离子体产生装置展开实验研究,引入阻抗分析法对放电模式转换进行判断,并得到了朗缪尔探针法的验证.实验发现,当气压为10 Pa时,轴向磁场强度的增加使得E-H和H-E模式转换的阈值功率增大;同时,随着轴向磁场的增强,放电中心区域的电子密度不断降低.初步分析认为,这是由于带电粒子在洛伦兹力作用下做回旋运动,导致高能电子在垂直磁场方向上的碰撞减少,降低了电子密度以及感应耦合效率.进一步分析电子能量概率函数(EEPF)发现,在E模式下,轴向磁场对电子运动的约束作用更加明显,高能电子(>27 eV)所占比例增多,电子能量分布更加均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏小龙	空军工程大学等离子体动力学重点实验室	18	38	3.0	5.0
2	罗思海	空军工程大学等离子体动力学重点实验室	14	46	5.0	6.0
3	李益文	空军工程大学等离子体动力学重点实验室	34	181	8.0	11.0
4	赵伟灼	空军工程大学等离子体动力学重点实验室	4	1	1.0	1.0
5	马旺	空军工程大学等离子体动力学重点实验室	1	0	0.0	0.0