微半球谐振陀螺技术研究进展

• 作者: 吴学忠 席翔 石岩 肖定邦
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 航空航天
• 关键词: 惯性传感 谐振陀螺 MEMS技术 制造方法
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 综述与动态
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: V241.5
• 字数: 2909字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2019.02.001

摘要

微半球谐振陀螺是一种基于MEMS工艺实现高精度谐振结构制造,进而实现角速率或角度信号测量的新型振动式陀螺.该技术既有望继承传统半球谐振陀螺高精度、 长寿命等优点,又兼具了微型化的技术优势,具有极大的发展潜力.目前,微半球谐振陀螺技术处于起步阶段,对其的研究重点主要集中于高精度谐振结构的制造技术.介绍了多种微半球谐振陀螺的制造方法,分析了其技术特点,并结合国内外微半球谐振陀螺技术的发展现状,对其未来发展趋势进行了阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学智能科学学院	70	934	18.0	28.0
2	肖定邦	国防科技大学智能科学学院	28	149	8.0	11.0
3	席翔	国防科技大学智能科学学院	4	7	2.0	2.0
4	石岩	国防科技大学智能科学学院	2	2	1.0	1.0