基于CD-SEM的线距标准样片测量

• 作者: 冯亚南 李锁印 许晓青 赵琳 韩志国
• 来源期刊: 上海计量测试
• 关键词: 线间距 CD-SEM 不确定度 线距样片
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 21-23
• 页数: 3页
• 字数: 2037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2019.01.008

摘要

针对线距标准样片线间距的测量需求,基于关键尺寸扫描电镜(CD-SEM),提出了一种宽度测量方法.首先,介绍了CD-SEM测量系统的基本原理;其次,使用CD-SEM对VLSI生产的标称尺寸为100 nm、3μm、10μm的线距标准样片进行了测量;最后,对测量不确定度进行评定,并将测量结果与VLSI标准样片证书给出的标准值进行比对.结果表明:En值最大为-0.7,CD-SEM测量线间距的准确度很高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李锁印	中国电子科技集团公司第十三研究所	27	40	3.0	5.0
2	韩志国	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	26	3.0	4.0
3	赵琳	中国电子科技集团公司第十三研究所	20	27	3.0	3.0
4	冯亚南	中国电子科技集团公司第十三研究所	12	18	2.0	3.0
5	许晓青	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	15	2.0	3.0