醋酸锌对氧化铈形貌及抛光性能的影响

• 作者: 席智强 陈勇
• 来源期刊: 现代化工
• 学科: 工学
• 关键词: 水热法 二氧化铈 非晶体 单晶硅片
• 年，卷（期）: 2019,（z1）
• 所属期刊栏目: 科研与开发
• 页码范围: 120-123
• 页数: 4页
• 分类号: TN3|TG7
• 字数: 2370字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2019.S.026

摘要

采用简易的水热合成方法,以柠檬酸钠、醋酸锌和硝酸铈为原料制备了氧化铈纳米杆.XRD分析结果表明,制备出的晶体前驱体由非晶相组成.在573 K下煅烧10h后,二氧化铈前驱体成立方萤石结构的晶体.改变醋酸锌的添加量会改变最终获得的二氧化铈杆状形貌尺寸和抛光性能.随着醋酸锌添加量的增加,微纳米杆二氧化铈晶面的优先生长方向演变成沿直径方向,纳米杆变得越来越粗,平均直径从230 nm增大到370 nm.使用未添加醋酸锌的杆状氧化铈进行抛光时,硅晶片表面存在略微的划伤和长短不一的划痕.随着醋酸锌浓度的增加,硅晶片表面划痕更加明显且有少量的腐蚀坑.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈勇	南华大学机械工程学院	65	149	7.0	9.0
2	席智强	南华大学机械工程学院	2	0	0.0	0.0