剪切式压电喷头多致动壁结构制备及特性分析

• 作者: 冯金磊 孔全存 李东 李勇 赵翔
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 剪切式压电喷头 多致动壁结构 特性分析 制备工艺 COMSOL仿真 测试
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 135-140,145
• 页数: 7页
• 分类号: TN384|TM22|O482.41
• 字数: 2570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.01.031

摘要

剪切式压电喷头多致动壁结构是压电喷头的核心部件, 针对国外在这一领域的长期垄断, 通过对致动壁的特性分析, 设计了剪切式压电喷头多致动壁结构, 并探索出一种改进的制备工艺.通过极化、切割、二次极化、镀电极和焊线工艺, 制备出长、宽、高分别为9.5mm、70μm、400μm的致动壁和液体腔.在有限元分析软件COMSOL下构建致动壁结构仿真模型并进行测试实验.结果显示, 壁间电压在0～60V内, 致动壁振动位移与其施加电压大小呈近似线性关系, 仿真与实验与结果平均偏差约为4nm, 最大偏差6.4nm, 两者吻合度达87％, 符合喷墨要求, 为剪切式喷头的研制提供了应用可行性.