影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素

• 作者: 刘秉宁 扈百直 李正飞 杨小林 马肖
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 工学
• 关键词: ITO靶材 冷压 缺陷 粉末冶金
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 金属材料与加工
• 页码范围: 61-65
• 页数: 5页
• 分类号: TF122
• 字数: 4410字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0308.2019.01.015

摘要

对冷压大尺寸ITO靶材毛坯出现的靶材质量问题进行详细分析.实验表明:选用质量比为9∶1的In2O3与SnO2粉末.将粉末配成固含量65％的溶液,添加ITO粉末质量的2％～3％的PVA粘结剂及2.5％的分散剂(活性剂)及稳定剂等,通过球磨,喷雾制粉,使粉末的含水量达到6％,过150目筛的粉末.采用改进模具、分段加压的冷压工艺,在冷压压力50～60MPa下,冷压大尺寸ITO靶材,可有效消除靶材毛坯掉边、分层及断裂等质量问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨小林		1	0	0.0	0.0
2	扈百直		1	0	0.0	0.0
3	刘秉宁		1	0	0.0	0.0
7	李正飞		1	0	0.0	0.0
8	马肖		1	0	0.0	0.0