压电陶瓷驱动器迟滞建模方法研究

• 作者: 王艳艳 边焱 郭海
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷驱动器 迟滞性 动态多项式拟合 逆模型 AFM
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 562-567
• 页数: 6页
• 分类号: TN384
• 字数: 3919字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2019.04.015

摘要

压电陶瓷驱动器是原子力显微镜(AFM)的关键组件. AFM在生物、材料及半导体等领域应用广泛,而利用AFM获得高精确的测试结果依然面临诸多挑战.其中,压电陶瓷驱动器具有迟滞、非线性等特点,在大范围高频工作状态下,对定位精度的影响更显著,这严重限制了AFM的进一步应用.本文围绕大范围压电陶瓷驱动器的迟滞性展开研究,设计一种基于改进型多项式拟合算法的迟滞建模方法,使得拟合模型可随输入信号频率的变化而变化,充分提高压电陶瓷迟滞模型的准确性.实验表明,该方法可为压电陶瓷驱动器建立准确的迟滞模型,建模过程简单,通过设计基于该迟滞逆模型的前馈控制算法,可使驱动范围在100 μm的压电陶瓷驱动器的线性度提高至1.5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王艳艳	天津职业技术师范大学天津市信息传感与智能控制重点实验室	4	12	2.0	3.0
2	边焱	天津职业技术师范大学天津市信息传感与智能控制重点实验室	1	2	1.0	1.0
3	郭海		7	22	3.0	4.0