动态特性可调的微动平台优化设计

• 作者: 杨志军 查雄飞 胡颖怡
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性铰链 微动平台 应力刚化 线性调节 有限元分析
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 115-118
• 页数: 4页
• 分类号: TN384
• 字数: 1932字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.01.027

摘要

针对目前柔性铰链主要靠局部变形来工作, 其存在应力集中, 且微动平台的动态特性受材料特性、设计制造等误差影响, 难以满足变工况条件下的高精密位移输出.基于应力刚化原理, 采用对称布置的带倒角的弹片式柔性铰链, 设计张紧力调节机构, 实现微动平台的动态特性可调.采用COMSOL Multiphysics和MATLAB联合仿真对张紧力调节机构进行参数优化, 让调节机构保持线性调节关系, 使柔性铰链的应力分布最小化.结果表明, 所设计的微动平台能够进行高度线性固有频率调节, 与有限元分析结果相比, 频率调节范围相差2.55％, 在理论设计范围内.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	查雄飞		1	0	0.0	0.0
2	杨志军		2	0	0.0	0.0
3	胡颖怡		1	0	0.0	0.0