金刚石MEMS三维谐振器的设计与加工

• 作者: 师鹏
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 陀螺仪 微机电系统 三维谐振器 操作精度
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 447-453
• 页数: 7页
• 分类号: TH136
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.05.15

摘要

微谐振器和陀螺仪因微机电系统(MEMS)水平的不断提升而被广泛关注和学习.采用MEMS设计和制造的微型传感器,因成本低、微尺寸和低耗能等特征而被广泛应用工程领域,在导航、消费电子等航空航天及相关高尖端领域具有广阔的发展前景.谐振器是组成陀螺仪重要组成部分,其相关性能的优良将会直接影响陀螺仪的操作精度.本文主要依据金刚石对MEMS三维谐振器的设计与加工,使所设计的三维谐振器具有良好的操作精度.

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1	师鹏		2	0	0.0	0.0