厚度误差对THz-TDS的测量不确定度分析

• 作者: 刘瑞煌 汪家春 董海龙 赵大鹏 马冬晓
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 太赫兹时域光谱系统 光学常数 厚度误差 不确定度 单晶硅
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 发光学应用及交叉前沿
• 页码范围: 382-388
• 页数: 7页
• 分类号: O433.1
• 字数: 4163字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20194003.0382

摘要

阐述了基于菲涅尔公式的透射式太赫兹时域光谱系统提取样品光学常数的方法和原理,分析了样品厚度误差对THz-TDS测量不确定度的影响,并建立了相应的不确定度模型.进行太赫兹时域光谱测量实验,提取硅片在太赫兹波段的折射率,并计算了误差对提取样品折射率的影响.结果表明,随着厚度误差的增大,系统测量偏差也随之增大.对于较厚样品,相同厚度误差对其测量结果影响较小.样品厚度为994μm时,在厚度存在1μm的测量误差情况下,系统测量折射率的偏差为0.0012,接近模型的仿真值.实验结果验证了厚度误差对测量不确定度模型的有效性,了解了厚度误差对系统测量结果的影响情况,对测量过程及结果分析具有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵大鹏	国防科技大学电子对抗学院脉冲功率激光技术国家重点实验室	7	1	1.0	1.0
2	董海龙	国防科技大学电子对抗学院脉冲功率激光技术国家重点实验室	3	1	1.0	1.0
3	汪家春	国防科技大学电子对抗学院脉冲功率激光技术国家重点实验室	9	9	2.0	2.0
4	刘瑞煌	国防科技大学电子对抗学院脉冲功率激光技术国家重点实验室	6	2	1.0	1.0
5	马冬晓	国防科技大学电子对抗学院脉冲功率激光技术国家重点实验室	2	0	0.0	0.0