变倾角移相法测量反射棱镜的光学平行差

• 作者: 吴志飞 朱文华 杨光 王冲 郑东晖 陈磊
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 变倾角移相 反射棱镜 光学平行差
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 541-546
• 页数: 6页
• 分类号: TH741
• 语种: 中文

摘要

为解决棱镜等效展开为玻璃平板后因腔长固定导致的移相困难问题,提出一种变倾角移相测量反射棱镜光学平行差的方法.通过改变光束在反射棱镜入射端面上的倾角在干涉图中引入移相量,实现干涉图中的相位提取.采用最小二乘法拟合相位计算反射棱镜的光学平行差.在实验中,测试了一块弦长为56.5mm的等腰直角棱镜,得到直角偏差A90°为2.1435″、锐角偏差δ45°为--4.6216″、直角边对应棱差γc为0.3554″,而Zygo GPI干涉仪仅可得到棱镜直角偏差,与本文方法的测量值偏差在0.15″以内.所提方法移相光路设计简便,并可实现小尺寸反射棱镜的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈磊	南京理工大学电子工程与光电技术学院	133	991	16.0	23.0
2	郑东晖	南京理工大学电子工程与光电技术学院	13	13	2.0	3.0
3	朱文华	南京理工大学电子工程与光电技术学院	22	28	3.0	4.0
4	吴志飞	南京理工大学电子工程与光电技术学院	2	0	0.0	0.0
5	王冲	南京理工大学电子工程与光电技术学院	5	11	2.0	3.0
6	杨光	南京理工大学电子工程与光电技术学院	4	0	0.0	0.0