真空系统的故障诊断与排除

• 作者: 姜燮昌
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空获得設备 故障诊断及排除
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TB75
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.03.01

摘要

本文讨论了应用于真空工艺的各种真空获得技术,并提供了多年在使用和操作过程中积累的售后服务经验.当真空装置需要维修时,系统地对故障进行分析诊断和采取正确的纠正措施都是同样重要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜燮昌		6	122	3.0	6.0