低损伤选择性发射极太阳电池激光工艺

• 作者: 宋帅迪 张竹青 杨冬琴 王强 赵广全
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 选择性发射极(SE)太阳电池 激光 选择性掺杂 钝化发射极及背面接触(PERC) 磷硅玻璃(PSG)
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 半导体制造技术
• 页码范围: 893-898
• 页数: 6页
• 分类号: TM914
• 语种: 中文
• DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.11.012

摘要

钝化发射极及背面接触(PERC)太阳电池技术叠加激光选择性发射极(SE)制备工艺是近年发展起来的提升PERC太阳电池效率的有效方法之一,但是在SE的制备过程中易发生磷硅玻璃(PSG)层被激光烧蚀的现象,导致电池性能下降.通过研究激光波长、脉冲频率、激光功率和扫描速度对硅片表面形貌、表面方块电阻、电池性能的影响,探索高效率、低损伤SE太阳电池的制备方法.实验结果表明,在激光波长为1 064 nm、激光功率为2W、脉冲频率为30 Hz条件下可获得最佳电池性能,SE太阳电池光电转换效率最高达到22.01％,与传统工艺制备的太阳电池相比提升约0.51％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	南通大学信息科学技术学院	60	132	6.0	8.0
2	张竹青	南通大学信息科学技术学院	12	15	2.0	3.0
3	赵广全		9	6	1.0	2.0
4	宋帅迪	南通大学信息科学技术学院	1	0	0.0	0.0