高气压直流辉光CH4/H2等离子体放电过程中的占空比效应

• 作者: 丁芳 刘汉兴 朱晓东 杨宽
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 高气压直流等离子体 占空比 波形 发射光谱
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 429-433
• 页数: 5页
• 分类号: O461.2
• 字数: 3089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.05.12

摘要

对高气压下直流均匀辉光放电的脉冲占空比效应进行了研究.在1.7 kHz脉冲放电条件下,当占空比高于73％时,脉冲间隔后电压需要经过10 ～ 20 μs的上升时间至稳定;而电流增长明显地滞后于电压的上升,整个增长过程需要的时间约是电压上升时间的10倍.减小占空比,表示电流增长快慢程度的时间常数τ几乎线性增加.这是因为小占空比时,上升通道开始时刻的等离子体电子密度低,放电电流需要更长时间才能稳定.在高气压条件下,粒子碰撞效应显著增强,增加的放电功率被更多地被用于加热中性粒子,表现为Hα、Hβ等发射光谱强度随占空比降低而增加.进一步减小占空比,电子密度ne衰减到过低,时间常数τ增加到一定值时,放电就难以维持,表现为放电不稳定乃至熄灭.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱晓东	中国科学技术大学物理学院	33	346	8.0	18.0
2	丁芳	中国科学院等离子体物理研究所	5	124	3.0	5.0
3	杨宽	中国科学技术大学物理学院	5	5	1.0	2.0
4	刘汉兴	中国科学技术大学物理学院	1	0	0.0	0.0