一种300万像素全画幅非制冷红外探测器

• 作者: 丁毅飞 刘国辉 史晔 李欣 李煜 杨璇 谭果 郭健海
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷 红外焦平面 氧化钒 全画幅 读出电路
• 年，卷（期）: 2019,（11）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 991-997
• 页数: 7页
• 分类号: TN215
• 字数: 2450字
• 语种: 中文

摘要

研制出一种全画幅QXGA(Quad Extend Graphic Array)非制冷氧化钒红外焦平面探测器.探测器阵列规模达到2048×1536,像元尺寸为17μm×17μm,有效光敏面积约为35 mm×26 mm.读出电路面积达到41.34mm×39.37mm,采用8英寸0.18μm 1P6M一版多曝的缝合拼接曝光工艺设计及加工,电路奇偶行同时积分、读出,有效提高像元积分时间.探测像元采用成熟的17μm氧化钒微桥结构,超大面积MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)结构采用"多版一曝"、"一版多曝"的组合拼接曝光设计及加工技术.探测器采用高可靠性的标准金属真空封装.测试结果表明,器件的噪声等效温差(NETD)小于45 mK,热响应时间小于7 ms,响应率非均匀性小于8％,器件帧频大于60 Hz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李煜		10	26	3.0	4.0
3	李欣		3	0	0.0	0.0
6	谭果		4	8	2.0	2.0
7	史晔		2	4	1.0	2.0
8	刘国辉		1	0	0.0	0.0
9	郭健海		2	4	1.0	2.0
10	杨璇		1	0	0.0	0.0
11	丁毅飞		1	0	0.0	0.0