光学表面微缺陷的高对比度暗场成像检测方法

• 作者: 刘乾 宋德林 张涛 张璇 耿鹏武
• 来源期刊: 机电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学元件加工 缺陷检测 暗场显微成像
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 检验检测
• 页码范围: 86-87,108
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 1564字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19508/j.cnki.1672-4801.2019.01.025

摘要

提出了一种新型的暗场显微成像方法(环状孔径显微术,Circular-Aperture Microscopy,CAM)用于光学加工表面的缺陷检测.该方法的关键在于,在CAM物镜中心放置一个遮挡片用于消除照明直射光的影响,而缺陷的散射光能够通过物镜的环状透射区域形成高对比度的图像.对划痕和麻点标准比对板、分辨率测试板、微粒悬浊液等样品的成像结果表明,CAM具有原理简单、对比度高、分辨率高、精度高的优势,能够为光学表面加工中的缺陷检测提供一种有效的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张涛	四川大学制造科学与工程学院	178	773	14.0	19.0
2	张璇	四川大学制造科学与工程学院	28	173	7.0	13.0
3	刘乾	中国工程物理研究院机械制造技术研究所	12	65	4.0	8.0
4	耿鹏武		3	1	1.0	1.0
5	宋德林		2	0	0.0	0.0