国外MEMS陀螺及组合力学环境适应性技术研究进展

• 作者: 刘飞 张菁华 王汝弢 郭中洋
• 来源期刊: 飞控与探测
• 学科: 交通运输
• 关键词: MEMS陀螺 减振 冲击防护 抗过载
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 综述与动态
• 页码范围: 12-17
• 页数: 6页
• 分类号: U666.1
• 字数: 2330字
• 语种: 中文

摘要

针对工程使用过程中,振动、冲击和过载等力学输入造成微机电(Micro-Electro Mechanical System,MEMS)陀螺及组合性能恶化的问题,对国外MEMS陀螺及组合力学环境适应性技术研究进展进行了梳理.从敏感结构、封装体、器件/系统层级,设计、加工工艺、封装和系统集成等角度,介绍国外主流的力学环境适应性技术方法,为国内相关技术的研究提供参考.