AlN陶瓷Mo-Mn法金属化的机理研究

• 作者: 刘平 向军 李天涛 杨洁 陈弹蛋 陈欣 黄刚
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: Mo-Mn法 氮化铝陶瓷 金属化层 氧化
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 理论研究
• 页码范围: 60-64,77
• 页数: 6页
• 分类号: TB756
• 字数: 3962字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.01.13

摘要

本文先将氮化铝陶瓷氧化,然后在氧化层上采用Mo-Mn法对氮化铝陶瓷进行金属化,通过对氮化铝陶瓷、氧化层、金属化层的显微结构、成分变化、元素的分布情况来探讨金属化的烧结过程,分析氮化铝陶瓷的Mo-Mn法金属化机理.实验结果表明使用Mo-Mn法可以实现牢固的金属化,其强度达到62 MPa;其机理是氮化铝陶瓷表面的氧化层中的Al2 O3在金属化过程中Al2 O3溶解到金属化层中形成玻璃相,同时金属化层中的氧化物向氧化层中迁移扩散,实现氮化铝陶瓷氧化层-金属化层的结合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄刚	中国工程物理研究院流体物理研究所	26	108	6.0	9.0
2	李天涛	中国工程物理研究院流体物理研究所	5	10	2.0	3.0
3	杨洁	中国工程物理研究院流体物理研究所	6	5	1.0	2.0
4	陈弹蛋	中国工程物理研究院流体物理研究所	4	4	1.0	2.0
5	陈欣	中国工程物理研究院流体物理研究所	3	3	1.0	1.0
6	向军	中国工程物理研究院流体物理研究所	3	3	1.0	1.0