电流体动力学近场直写工艺参数对微图案的影响

• 作者: 冯孝为 吴婷 左春柽 张礼兵 李鹏 陈建洲 黄风立
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电流体动力学 近场直写 微图案 聚氧化乙烯(PEO) 柔性绝缘基板
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 65-70
• 页数: 6页
• 分类号: TP605
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.01.011

摘要

以聚氧化乙烯(PEO)为直写溶液,光泽柔性绝缘相纸作为基板材料,采用自主研制的电流体动力学近场直写(ENDW)设备直写微图案.研究了工作电压、直写高度和直写溶液的质量分数等参数对PEO溶液的直写微图案宽度的影响.结果表明在使用质量分数3％的PEO溶液在进行直写时,喷嘴与基底之间的工作电压从1.1 kV增大到2.6 kV,PEO微图案的平均宽度从35.61 μm下降到23.3 μm,并且图案宽度的工艺误差从8.24μm下降到2.21 μm.随着工作电压的增大,喷嘴处的射流形态变化依次为:液滴状、弯液面、稳定射流、多股射流.同时研究发现,通过降低直写高度和增加PEO溶液的质量分数,能进一步减小微图案的宽度,并且能够提高微图案宽度的均匀性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄风立	嘉兴学院机电工程学院	52	207	8.0	11.0
2	左春柽	嘉兴学院机电工程学院	9	20	3.0	4.0
3	吴婷	嘉兴学院机电工程学院	16	35	4.0	5.0
4	张礼兵	嘉兴学院机电工程学院	19	79	5.0	8.0
5	陈建洲	嘉兴学院机电工程学院	3	7	1.0	2.0
6	李鹏	嘉兴学院机电工程学院	2	6	1.0	2.0
7	冯孝为	嘉兴学院机电工程学院	1	0	0.0	0.0