具有七个焦点的碳纳米管阴极分布式X射线源

• 作者: 唐华平 张庆辉 李猛 秦占峰 陈志强
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 碳纳米管阴极 分布式X射线源 静态层析成像
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 电子器件
• 页码范围: 406-413
• 页数: 8页
• 分类号: TN146
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.05.09

摘要

介绍一种具有七个焦点的碳纳米管阴极分布式X射线源,具有多焦点集成和可编程脉冲发射的特点,基于该X射线源的辐射成像系统能够快速实现7个不同视角的静态层析成像.碳纳米管阴极采用电泳沉积法制备,单个阴极产生的最大电流可达14 mA,具有很好的大电流发射稳定性和一致性.设计的阳极电压为70 kV,通过模拟仿真计算对结构进行优化,实现了电子束的有效聚焦,平均焦点尺寸小至0.60 mm*0.95 mm,且展现出较好的一致性.整个腔体采用精密加工封装工艺和超高真空排气工艺,获得并保持稳定的超高真空状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦占峰		2	3	1.0	1.0
2	张庆辉		2	3	1.0	1.0
3	李猛		1	3	1.0	1.0