基于电子束蒸发沉积的曲面纳米薄膜均匀性研究

• 作者: 兰洁 孙权权 朱蓓蓓 李维源 袁航 许剑锋 陆波 陈肖
• 来源期刊: 飞控与探测
• 学科: 航空航天
• 关键词: 半球谐振子 电子束蒸发 球面 均匀性 光学模拟 纳米薄膜
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 惯性与伺服技术
• 页码范围: 64-70
• 页数: 7页
• 分类号: V464
• 字数: 3509字
• 语种: 中文

摘要

半球谐振子金属化是半球谐振陀螺研制过程中的重要环节,针对半球表面薄膜制备均匀性难以实现的问题,提出了一种将薄膜沉积实验和光学模拟相结合的方法.本文采用电子束蒸发技术在半球上沉积Au薄膜,过渡层金属为Cr,利用台阶仪测量球面上不同位点的薄膜厚度,将平面上的膜厚等效为半球曲面上的膜厚,研究球面薄膜的均匀性,得出了如下结论:在半球内外表面上薄膜的膜厚逐渐减小,外球面上球顶处膜厚为唇沿处的6.1倍,而内球面上球顶处膜厚为唇沿处的3.26倍;同时对薄膜沉积均匀性进行了光学模拟,将半球探测器上辐照度等效为实验中沉积所得到的薄膜厚度,计算得出的半球探测器上辐照度分布与实验测量结果一致性较好,可为半球谐振子纳米薄膜的均匀性制备提供理论基础.