纳米真空互联大装置(Nano-X)及其应用进展

• 作者: 丁孙安 杨辉
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米 表面污染 真空环境 真空互联大装置 重要进展
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: TB753+.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.11

摘要

进入纳米时代后,纳米材料与纳米器件的性能不只取决于块体材料的性质,而更主要是由材料的表、界面性质来决定.为了避免由于表面污染而造成的改变与损伤,薄膜材料通常需要放置于超高真空环境中.本文介绍了纳米真空互联大装置的必要性、功能,以及支持项目和取得的重要进展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨辉	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	179	2701	25.0	46.0
2	丁孙安	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	2	0	0.0	0.0