基于针尖阵列的柔性干电极制备与测试

• 作者: 史一明 王任鑫 白建新 程丽霞
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 针尖阵列 柔性干电极 聚对二甲苯薄膜 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 电场仿真 电极-皮肤接触阻抗 生物电信号
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 57-64
• 页数: 8页
• 分类号: TN305
• 字数: 4084字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.01.010

摘要

针对目前Ag/AgCl湿电极存在导电膏干涸而导致的信号质量变差、电极-皮肤接触阻抗变大等问题,提出一种可测量生物电信号的柔性干电极的制备方法.结合深反应离子刻蚀(DRIE)和湿法腐蚀工艺制备出硅针尖模具,后经聚对二甲苯薄膜的保形淀积完成聚二甲基硅氧烷(PDMS)两次翻膜工艺,并有效解决了PDMS与金属种子层之间的黏附性问题.使用COM-SOL软件对干电极和湿电极进行电场仿真,结果显示干电极能显著提高生物电信号提取的有效性和稳定性.通过对干电极与湿电极进行电极-皮肤接触阻抗的对比测试,表明湿电极随着导电膏干涸而导致接触阻抗逐渐变大并超过于电极,相反干电极的接触阻抗则较为稳定.该方法制备的柔性干电极具有工艺简单、成本较低、适于批量化生产、材料生物兼容性好、接触阻抗稳定等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史一明	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	1	1.0	1.0
2	白建新	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	3	1	1.0	1.0
3	王任鑫	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	15	13	2.0	3.0
4	程丽霞	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	3	1.0	1.0