基于HTCC电路的MEMS复合同振型水听器设计

• 作者: 唐立赫 张晓桐 张松 朱林 李旭 王大宇 胡天宇 苗峻 董自强
• 来源期刊: 无线电工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 同振型 矢量水听器 高温共烧陶瓷内嵌电路
• 年，卷（期）: 2019,（9）
• 所属期刊栏目: 专题技术与工程应用
• 页码范围: 829-833
• 页数: 5页
• 分类号: TP391.4
• 字数: 3462字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-3106.2019.09.016

摘要

矢量水听器是感知水下声信息的重要设备,基于MEMS微加工工艺研制了一种复合同振型矢量水听器,将MEMS矢量水听器芯片与压电陶瓷环在结构上组合在一起,能够同时拾取水下目标信号的标量信息和矢量信息.内部集成了HTCC调理电路,能够有效降低传感器耦合噪声,提高检测信号的信噪比.通过驻波管计量,MEMS复合式水听器的工作频率范围为20～1000 Hz,矢量振速通道灵敏度为-170.5 dB@1 kHz,标量声压通道灵敏度为-174.7 dB@1 kHz.通过内嵌电路,信噪比提高了15 dB.