电子束蒸镀金膜表面黑色颗粒形成的机理研究

• 作者: 付学成 权雪玲 王凤丹 王英 瞿敏妮
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束蒸发 金膜 黑色颗粒 热发射电子 尖端放电
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 396-400
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.05.07

摘要

采用电子束蒸镀金膜时,会有微小的黑色颗粒出现在金膜的表面,这些黑色的颗粒形状大多不规则,尺寸集中在100 nm～-1 μm之间,传统的蒸镀理论较难解释这些黑色颗粒的成因.本文尝试提出液态金属表面热发射电子引起液面上杂质颗粒“尖端放电”的理论来解释这一现象.这类电晕放电造成颗粒附近温度极高,瞬间将颗粒蒸发沉积在衬底.通过改变蒸镀功率,或保持功率不变,改变电子束斑点形状、落点位置等一系列实验,验证了理论的合理性.