聚酰亚胺在MgB2约瑟夫森结制备中的应用

• 作者: 余军 张勇 杨健 梁蓓 梁超 王代强 王松 马奎
• 来源期刊: 低温与超导
• 学科: 物理学
• 关键词: PI薄膜 MgB2 约瑟夫森结 超导集成电路
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: O511
• 语种: 中文
• DOI: 10.16711/j.1001-7100.2019.04.006

摘要

MgB2超导材料由于其优异的超导性能和电学参数,是制作超导集成电路的理想材料之一.制备基于MgB2超导薄膜的高质量约瑟夫森结是超导电子学应用的关键.以聚酰亚胺(PI)为抗蚀层,在MgB2超导薄膜上实现微米量级的图形线条制作,以此工艺为基础,结合MgB2超导薄膜的气相化学沉积和晶型B介质层沉积方法,制作了基于MgB2超导材料的约瑟夫森纵向结阵列,并测试了相应结的约瑟夫森效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张勇		100	332	8.0	15.0
2	梁蓓		35	89	5.0	7.0
3	王松		29	23	2.0	3.0
4	杨健		23	35	4.0	5.0
5	马奎		35	52	4.0	5.0
6	王代强		31	84	5.0	7.0
7	余军		6	6	2.0	2.0
8	梁超		2	1	1.0	1.0