微波高功率对生长金刚石膜影响的研究

• 作者: 余军火 汪建华 罗凯 翁俊
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高微波功率 强场区域 电子密度 化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 390-395
• 页数: 6页
• 分类号: TQ164
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.05.06

摘要

在实验室自制的10 kW微波等离子体化学气相沉积装置中,系统分析提高功率对生长金刚石膜的影响.利用等离子体发射光谱诊断分析高功率微波等离子体放电环境的特征,同时采用扫描电镜及Raman光谱对不同功率条件下获得的金刚石膜的形貌和质量进行表征.结果 表明:微波功率的提高可以获得面积更大的强场区域,为金刚石的大面积均匀成膜提供了有利条件;同时提高微波功率可以产生更高的电子密度,激发更多的活性氢原子和有利于金刚石生长的含碳基团;在气压为15 kPa,H2/CHa流量比为200∶6 mL/min的条件下,当功率由4000上升到5000 W时,金刚石膜的质量明显得到提高;当功率升高到5500 W时,金刚石质量开始下降,出现孪晶;但在升高功率的过程中,晶粒尺寸增大的趋势没有改变.因此,提高微波功率易于活性氢原子的产生并可更为充分的活化含碳大分子基团;在本实验条件下,当微波功率为5000 W时,所制备的金刚石膜可具有较高的质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	翁俊	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
3	余军火	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	2	2	1.0	1.0
4	罗凯	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	2	2	1.0	1.0