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• 作者: 刘婉 姜建利 杨雪梅 白飞明
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: FeGa合金衬底 磁致伸缩效应 ScAlN薄膜 磁电效应 声表面波谐振器
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 4-8
• 页数: 5页
• 分类号: TN65|TN384|TM930
• 字数: 2729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.01.002

摘要

该文研究基于磁致伸缩FeGa合金衬底的磁电声表面波(SAW)谐振器.首先,在FeGa磁致伸缩衬底上溅射沉积了ScAlN压电薄膜,完成了单端口声表面波谐振器的制备;其次,采用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段对ScAlN薄膜进行结构分析;最后,采用矢量网络分析仪和微波探针台测试S 参数和群时延.结果表明,ScAlN薄膜晶粒呈柱状生长且具有高度(002)取向,薄膜表面粗糙度在2.36nm左右;当ScAlN压电薄膜厚为0.7μm,波长为15.74μm 时,SAW 谐振器的谐振频率为218.75MHz,相速度为3 443m/s,机电耦合系数为0.06％,与COMSOL仿真计算结果较吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨雪梅	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	4	1.0	1.0
2	白飞明	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	9	42	4.0	6.0
3	刘婉	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	2	1.0	1.0
4	姜建利	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	2	1.0	1.0