等温等效替代热压印法成型 超薄导光板的工艺分析

• 作者: 刘颖 吴大鸣 孙靖尧 曹亚楠 李楷 许红 赵中里
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等温热压印 等效替代热压印 超薄导光板 工艺参数 复制高度 均匀度
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 616-622
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 字数: 4460字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20194005.0616

摘要

针对超薄导光板微结构模具难加工的问题,结合等温热压印法,提出了一种新型的"等效替代"压印工艺,即通过控制成型工艺参数来降低微结构复制高度,实现了在基片上成型出小于模具微结构尺寸的等效结构,突破了热压印过程中模具微结构完全等大复制的思想禁锢,降低了微结构模具加工难度,从而革新了高质量超薄导光板的成型工艺.以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为基片,设计具体实验,加工0.25 mm厚的导光板,验证这一方法的可行性.实验结果表明,这种新型的"等效替代"压印工艺不仅可以降低模具的制造难度和加工成本,而且可以大大改善超薄导光板的性能,与等温热压印工艺相比均匀度提高了23％,整个成型时间缩短到了20 s.