采用钯镍薄膜的声表面波氢气传感器研究

• 作者: 梅盛超 王文 雷刚
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 钯镍薄膜 声表面波 氢气传感器 振荡器
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 3页
• 分类号: TN384|TM281
• 字数: 2046字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.01.001

摘要

该文对采用钯镍薄膜作为敏感膜的声表面波氢气传感器开展研究, 以实现快速的氢气检测.传感器采用双通道差分振荡器结构, 其中在传感通道器件声表面波传播路径上以磁控溅射法沉积钯镍薄膜, 通过钯镍薄膜对氢气的快速和可逆物理吸附引起声表面波传播速度的变化, 进而以差分振荡器频率信号来表征待测氢气浓度.通过传感实验以确定获得快速响应的钯镍的优化厚度.结果表明, 在钯镍厚为40nm时, 传感器获得的响应幅度与响应速度分别达5kHz和5s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文	中国科学院声学研究所	81	464	12.0	18.0
2	雷刚		28	51	3.0	6.0
3	梅盛超	中国科学院声学研究所	2	1	1.0	1.0