316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺的研究

• 作者: 刘志宏 吴杰峰 周能涛 李波 邢银龙
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 异型真空盒 超高真空 表面处理 工艺
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 27-29
• 页数: 3页
• 分类号: TB77
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.05

摘要

第三代同步辐射光源在不同位置需要设计不同形状的真空腔体保证电子束在超高真空(<1.3×10-8Pa)环境下运行.其中异型真空腔体作为第三代同步辐射装置的关键部件之一其制造过程中非常关键问题就是材料的表面处理.然而,针对316LN异型真空盒超高真空的表面处理工艺国内外还没有公开的发表过,对于316LN异型真空盒超高真空的表面处理工艺的研究工作也鲜有报道.因此,本文针对316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺提出合理的工艺方案,针对316LN异型真空盒的表面处理工艺设计并组建一套完整的四极质谱残余气体检测分析系统,为316LN异型真空盒超高真空表明处理的研究提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李波	中国科学院等离子体物理研究所	172	1760	20.0	37.0
2	刘志宏	中国科学院等离子体物理研究所	32	88	5.0	8.0
3	吴杰峰	中国科学院等离子体物理研究所	39	85	5.0	6.0
4	周能涛	中国科学院等离子体物理研究所	3	1	1.0	1.0
5	邢银龙	中国科学院等离子体物理研究所	2	0	0.0	0.0