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316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺的研究
316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺的研究
作者:
刘志宏
吴杰峰
周能涛
李波
邢银龙
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
异型真空盒
超高真空
表面处理
工艺
摘要:
第三代同步辐射光源在不同位置需要设计不同形状的真空腔体保证电子束在超高真空(<1.3×10-8Pa)环境下运行.其中异型真空腔体作为第三代同步辐射装置的关键部件之一其制造过程中非常关键问题就是材料的表面处理.然而,针对316LN异型真空盒超高真空的表面处理工艺国内外还没有公开的发表过,对于316LN异型真空盒超高真空的表面处理工艺的研究工作也鲜有报道.因此,本文针对316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺提出合理的工艺方案,针对316LN异型真空盒的表面处理工艺设计并组建一套完整的四极质谱残余气体检测分析系统,为316LN异型真空盒超高真空表明处理的研究提供理论依据.
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篇名
316LN异型真空盒超高真空表面处理工艺的研究
来源期刊
真空
学科
工学
关键词
异型真空盒
超高真空
表面处理
工艺
年,卷(期)
2019,(6)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
27-29
页数
3页
分类号
TB77
字数
语种
中文
DOI
10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.05
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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1
李波
中国科学院等离子体物理研究所
172
1760
20.0
37.0
2
刘志宏
中国科学院等离子体物理研究所
32
88
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8.0
3
吴杰峰
中国科学院等离子体物理研究所
39
85
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4
周能涛
中国科学院等离子体物理研究所
3
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邢银龙
中国科学院等离子体物理研究所
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超高真空
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研究来源
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研究去脉
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期刊影响力
真空
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
开本:
大16开
出版地:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号:
8-30
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
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