CuO-TiO2气敏材料的制备及其低温丙酮气敏特性研究

• 作者: 潘国峰 王如 肖悦 郑洁 韩楠
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铜 二氧化钛 丙酮 工作温度 光激发 气敏性能
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 21-27,33
• 页数: 8页
• 分类号: TP212
• 字数: 3812字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.03.004

摘要

采用溶胶-凝胶法制备了CuO掺杂TiO2纳米材料并用于丙酮气敏传感器制备,通过XRD和SEM对样品的物相结构和表面微观形貌进行表征,利用EDS对样品的元素种类与平面分布进行了分析,研究了CuO掺杂量、工作温度、光激发等对元件气敏性能的影响.结果表明,CuO-TiO2对丙酮表现出良好的选择性,掺杂6.6％(质量分数)CuO的CuO-TiO2,经500℃退火后,在75℃下,对体积分数为1000×10-6丙酮的灵敏度达到106.71,响应时间和恢复时间均为2s;同时研究还显示光激发可以有效提高元件的气敏性能,紫外光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下增幅95％,而可见光照射下元件对丙酮的灵敏度相比无光条件下仍能增幅50％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘国峰	河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室	70	462	10.0	18.0
2	王如	河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室	44	252	8.0	14.0
3	郑洁	河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室	9	0	0.0	0.0
4	韩楠	河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室	2	0	0.0	0.0
5	肖悦	河北工业大学电子信息工程学院天津市电子材料与器件重点实验室	2	2	1.0	1.0