新型同轴电极结构碳纳米管场发射电离计

• 作者: 何剑锋 董长昆 黄卫军
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管 场发射 电离真空计 同轴电极 灵敏度
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TN304|TH813|TB772+.3|O462.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.06.03

摘要

本文以碳纳米管(CNT)作为阴极电子源设计一种新型的冷阴极电离真空计结构,结构包括场发射电子源、阳极和离子收集极,阳极和离子收集极为同轴圆环结构.利用热化学气相沉积法在金属基底上直接生长碳纳米管,分别制备了4mm×5mm矩形和直径0.1mm圆形两种阴极发射面.碳纳米管阴极具有优异的场发射性能,开启电场1.70 V/μm.在氮气环境下,分别对不同阴极真空电离计结构的真空测量性能进行了研究,真空计在10-7到10-3Pa区间归一化电流(Ii/Ia)与压强表现出良好的线性关系,矩形和圆形发射面阴极对应的真空计其测量灵敏度分别是3.1×10-2Pa-1和1.3×10-2Pa-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董长昆	温州大学微纳结构与光电器件研究所	10	15	2.0	3.0
2	何剑锋	温州大学微纳结构与光电器件研究所	2	1	1.0	1.0
3	黄卫军	温州大学微纳结构与光电器件研究所	1	0	0.0	0.0