不同类型籽晶对多晶硅质量的影响

• 作者: 候炜强 张婷 王锋 白翔 符壮 赵宇飞
• 来源期刊: 铸造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅锭 籽晶 少子寿命 位错
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 246-248,255
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 语种: 中文
• DOI: 10.16410/j.issn1000-8365.2019.03.003

摘要

采用的籽晶为不同类型的原生多晶硅料,一种是粒径为2～5 mm的原生多晶硅颗粒料;另一种是厚度2 cm左右的原生多晶板料,将二者铺设在同一个坩埚底部,使其各占一半;使得两种籽晶的生长环境,工艺配方及影响长晶的其他因素完全一致,进而有利于更好地比较分析不同类型籽晶对硅锭质量的影响.结果 表明,经过对比两种籽晶产出硅锭的晶粒大小,晶粒均匀性,少子寿命以及红外探伤等差异;对比分析两种籽晶的优缺点,发现用粒径为2～5 mm的原生多晶硅料做籽晶具有更好的引晶效果.