Ca-B-Si玻璃掺杂对SrTiO3基半导体陶瓷材料性能的影响

• 作者: 唐斌 李欣源 钟朝位
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: SrTiO3 CaO-B2O3-SiO2玻璃 掺杂 温度稳定性 介电性能 固相反应法
• 年，卷（期）: 2019,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 14-18
• 页数: 5页
• 分类号: TN82
• 字数: 4418字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.05.003

摘要

采用二次烧结法制备了Ca-B-Si(CBS)玻璃掺杂的SrTiO3基晶界层型陶瓷电容器材料.研究了CBS玻璃作为掺杂剂对SrTiO 3基半导体陶瓷电容器微观结构、 介电性能及温度稳定性的影响.结果表明,适量的CBS掺杂能明显改善材料的电容温度稳定性,提高相对介电常数(εr),降低介电损耗(tanδ).当CBS质量分数为0.4％ 时,可获得最佳的电学性能:εr为19418,tanδ 为0.007,在-55～150℃电容温度变化率(ΔC·C-1)小于10％,绝缘电阻率大于2.1×1011Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟朝位	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	49	326	8.0	16.0
2	唐斌	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	210	2076	24.0	33.0
3	李欣源	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	0	0.0	0.0