钨纳米颗粒填充法制作X射线吸收光栅

• 作者: 李乔飞 李冀 许挂雯 雷耀虎 黄建衡
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 化学
• 关键词: X射线 相衬成像 吸收光栅 纳米颗粒 钨
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 786-788，890
• 页数: 4页
• 分类号: O647.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.16818/j.issn1001-5868.2019.06.007

摘要

提出一种新颖、可避免高温过程的大面积吸收光栅制作方法,使用钨纳米粒子作为X射线吸收材料,利用有机溶剂和乳化剂作为吸收材料的载体,在负压下将它们填充到周期为42μm、深度为 150μm的光栅结构中.此外,与通过微铸造技术制作的相同结构铋块体吸收光栅相比较,得到的 X射线投影吸收对比度表明,钨纳米颗粒对X射线吸收性能低约15％,但纳米颗粒填充法可显著降低吸收光栅的制作成本,并利于实现大面积制作.