一种用于湿度监测的LC无线无源传感器的制备与测试

• 作者: 吕文 谭秋林
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 无线无源 二维材料 湿度监控 聚酰亚胺(PI) 二硫化钼(MoS2)
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 211-217
• 页数: 7页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

提出了一种采用丝网印刷和亚胺化工艺制备的LC无线无源技术的二硫化钼(MoS2)/聚酰亚胺(PI)湿度传感器.对比了不同超声时间下的二硫化钼/聚酰亚胺复合材料的湿度敏感性能,得出对湿度最灵敏的材料为超声4h的二硫化钼/聚酰亚胺材料.测试结果表明,制备的器件在量程10％RH～95％RH内具有较好的频率响应,频率变化值为6.205 MHz;在高湿度范围内(60％RH～95％RH),传感器的灵敏度可达153.59 kHz/％RH.此外,该传感器的响应和恢复时间分别为7.2s和10.4s,迟滞性误差约为5％RH且具有较好的稳定性.该传感器可广泛应用于化学合成和矿井环境等领域的湿度监测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭秋林	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	71	327	10.0	15.0
2	吕文	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	1	1.0	1.0