PZT铁电薄膜的离子束刻蚀表面形貌研究

• 作者: 刘巧灵 廖佳佳 彭强祥 朱学进 罗远东
• 来源期刊: 湘潭大学自然科学学报
• 学科: 数学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 锆钛酸铅 离子束刻蚀 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 30-38
• 页数: 9页
• 分类号: O152.1
• 字数: 3106字
• 语种: 中文

摘要

采用Sol-Gel(溶胶-凝胶)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了约200 nm厚的PZT(锆钛酸铅)铁电薄膜,然后用氩离子束对PZT薄膜进行刻蚀.研究了不同的离子束刻蚀工艺参数(如离子束入射角θ、屏级电压U s和氩气流量F Ar)对PZT薄膜刻蚀速率及表面粗糙度的影响.采用原子力显微镜(AFM)对PZT薄膜的表面微观形貌和表面粗糙度值R q(均方根值)和R a(算术平均值)进行测试和分析,通过探针式表面轮廓分析仪测量刻蚀深度d并计算出刻蚀速率V etc.结果表明:刻蚀速率V etc严重依赖于离子束入射角θ,在0～75°的θ范围内呈类抛物线关系;当θ为45°时,刻蚀速率达到最大值.随着F Ar和U s的增加,V etc与两者分别呈成正相关关系,且越来越大.表面粗糙度值R q和R a随F Ar和θ的改变而变化,在7 sccm、45°时会有最优值出现;而随屏级电压Us的增加,在800 V处表面粗糙度值最低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭强祥	湘潭大学材料科学与工程学院	4	0	0.0	0.0
2	罗远东	湘潭大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
3	朱学进	湘潭大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
4	刘巧灵	湘潭大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
5	廖佳佳	湘潭大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0