环境扫描电镜工作原理及应用

• 作者: 许乾慰 陆海通
• 来源期刊: 上海塑料
• 学科: 工学
• 关键词: 环境扫描电镜 多重狭缝 气体二次电子探头 聚合物 金属大气腐蚀
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN16
• 字数: 5540字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5993.2019.03.001

摘要

介绍了环境扫描电镜(ESEM)的工作原理及其在各类材料中的应用.ESEM继承了扫描电镜(SEM)的全部优点,在聚合物材料、非导电晶体材料、压电晶体材料、含水生物样品等的研究中得到广泛应用,并显示出其具有制样简单、样品室环境可变、有独特的像衬度原理、可观察动态过程等独特优点;ESEM尤其可以消除普通SEM无法观察含水样品以及镀导电层会掩盖样品表面精细结构的缺点.但ESEM依然还存在气体环境会对电镜造成污染、无法避免电子束轰击对样品表面造成损伤等缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许乾慰	同济大学材料科学与工程学院	62	448	11.0	18.0
2	陆海通	同济大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0