深亚微米多晶硅熔丝特性研究

• 作者: 张猛华 张继 王燕婷
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 熔丝 多晶熔丝 熔断 180nm工艺
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 38-40,43
• 页数: 4页
• 分类号: TN306
• 字数: 2250字
• 语种: 中文

摘要

随着集成电路产业的迅速发展,熔丝电路在IC芯片中的应用越来越广泛.为了提高集成电路制造良率,在集成电路设计中通常会大量使用基于熔丝技术的冗余电路.通过对180 nm工艺多晶硅熔丝熔断特性的探索和研究,给出多种尺寸的多晶硅熔丝电熔断特征参考值,可以满足集成电路设计对编程条件和编程后熔丝阻值的不同需求.集成电路设计者通过选择不同的多晶硅熔丝尺寸种类,实现熔丝外围电压电流发生电路的灵活设计,大幅提高180nm工艺多晶硅熔丝设计成功率.通过优化熔丝器件结构、编程条件等参数,实现不同应用需求的熔丝量产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王燕婷	中国电子科技集团公司第五十八研究所	3	0	0.0	0.0
2	张猛华	中国电子科技集团公司第五十八研究所	9	11	3.0	3.0
3	张继	中国电子科技集团公司第五十八研究所	4	3	1.0	1.0