自动铟封设备及其控制系统

• 作者: 李亚玮 王晓东 管亮 罗怡
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 铟封 热压 温度控制 压封力控制
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: TK323
• 字数: 3155字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2019.01.010

摘要

铟封是一种重要的软金属封接方法,陀螺的玻璃腔体和金属电极采用铟封,实现谐振腔的真空.目前铟封多采用手工操作,较难实现铟环、电极和腔体孔的对准,且封接一致性差,因此本课题研制自动铟封设备,实现铟环和电极与腔体孔的自动对准放置,并施加温度和封接力.本文利用温度控制器、加热棒、Pt电阻设计了温度闭环控制系统,采用位移-力控制策略,通过控制热压头的位移,结合系统刚度,实现了压封力的稳定控制.实验表明,设备的温度控制最大偏差小于±0.3℃,压封力控制偏差小于9N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗怡	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	53	695	13.0	25.0
5	王晓东	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	115	1141	19.0	28.0
9	李亚玮	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	2	1	1.0	1.0
10	管亮	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室	1	1	1.0	1.0