影响MEMS弹簧弹性系数的因素分析

• 作者: 仵珍稷 吕玉山 施博文
• 来源期刊: 机械工程师
• 学科: 工学
• 关键词: 微弹簧 弹性系数 测量 改进方法 对比分析
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 机械研究与分析
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TH161|TH135
• 字数: 1493字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-2333.2019.01.016

摘要

在MEMS执行器中,弹簧起到至关重要的作用,因此得到广泛的应用.在S型弹簧弹性系数计算公式的基础上,采用LIGA技术加工出一批弹簧,用数字式显微镜对公式中主要影响因素的测量,计算出理论数值与实际值的相对误差,得出相对误差过大不满足设计要求.经过对加工特点的研究,从设计和加工的角度,提出改善方法.在此改进方法的基础上,加工出一批弹簧,通过对两批弹簧测量数据的对比分析,确定改进方法能够满足设计需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕玉山		69	290	9.0	13.0
2	仵珍稷		5	9	2.0	2.0
3	施博文		2	0	0.0	0.0