压电微泵的特性测试与分析

• 作者: 吴俊 徐溢 朱东来 李廷华 毛明健 陈李 韩熠
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微泵 流量测试 压电 黏度 有阀
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TH137
• 字数: 3003字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2019.01.009

摘要

本文对压电驱动微泵的工作特性进行了系统测试,利用高压方波信号源产生频率和电压可调的信号来驱动微泵,采用高精度电子秤测量固定时间(10 s)内微泵输送液体的质量大小;并对工作特性进行相关分析,总结了压电微泵的输送流量随液体黏度、驱动电压和驱动频率之间的关系.结果表明,在相同的驱动条件下,液体黏度越大,压电微泵输送的流量越小;在固定的驱动电压下,当驱动频率为泵膜的谐振频率时压电微泵输送的流量最大,高于或低于驱动频率时输送的流量越来越小;在固定的驱动频率下(谐振频率),压电微泵输送的流量随驱动电压的升高而增加.研究结果为压电微泵的优化设计和实际应用提供了依据.