集成电路工艺参数控制系统的设计与实现

• 作者: 唐均君
• 来源期刊: 集成电路应用
• 学科: 工学
• 关键词: 集成电路制造 工艺参数 PPCS 控制系统
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺与制造
• 页码范围: 29-31
• 页数: 3页
• 分类号: TN405
• 字数: 4015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19339/j.issn.1674-2583.2019.04.009

摘要

从分析集成电路项目的自身特点入手,提出了项目管理的要素.并以上海华力12英寸先进生产线工艺参数控制系统(Process Parameter Control System,PPCS)项目案例进行参照,为国内集成电路项目自控系统的项目管理起到借鉴作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐均君		4	5	1.0	1.0