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摘要:
相对法校准真空漏孔是通过比较四极质谱计采集的电流值,根据已知标准漏孔漏率计算出被校真空漏孔漏率的一种方法.使用真空漏率校准装置,能方便的校准真空漏孔,且不确定度符合量值传递要求,满足了实际需要.主要介绍了相对法校准真空漏孔的原理,过程及不确定度的评定.
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内容分析
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文献信息
篇名 相对法校准真空漏孔及不确定度的评定
来源期刊 真空 学科 工学
关键词 相对法 真空漏孔 校准原理 校准过程 不确定度
年,卷(期) 2019,(2) 所属期刊栏目 测量与控制
研究方向 页码范围 66-68
页数 3页 分类号 TB75
字数 语种 中文
DOI 10.13385/j.cnki.vacuum.2019.02.13
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 解永蓉 中国工程物理研究院电子工程研究所 8 16 2.0 3.0
2 刘兴胜 中国工程物理研究院电子工程研究所 20 29 3.0 4.0
3 费渭南 3 32 2.0 3.0
4 郑颖 中国工程物理研究院电子工程研究所 2 2 1.0 1.0
传播情况
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引文网络
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2020(1)
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研究主题发展历程
节点文献
相对法
真空漏孔
校准原理
校准过程
不确定度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
出版文献量(篇)
2692
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3
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12898
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