基于SEM-EDS的清洁度检测技术研究

• 作者: 余成龙 王春花 王树平 陈耀东
• 来源期刊: 现代车用动力
• 学科: 工学
• 关键词: 清洁度 检测 扫描电子显微镜 能量色散谱仪 杂质
• 年，卷（期）: 2019,（2）
• 所属期刊栏目: 工装工艺
• 页码范围: 47-50
• 页数: 4页
• 分类号: TK413.8
• 字数: 2296字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5446.2019.02.011

摘要

清洁度是影响产品质量的重要指标之一,为了对影响清洁度的杂质颗粒进行分级统计、成分分析以保证其可溯源性,研究了基于扫描电子显微镜和能量色散谱仪(SEM-EDS)的清洁度检测技术,结合试验对检测过程和参数选择进行优化,并对结果进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王春花		14	24	2.0	4.0
2	陈耀东		5	20	2.0	4.0
3	余成龙		5	0	0.0	0.0
4	王树平		5	0	0.0	0.0