基于微加热板的三维SnO2薄膜乙醇传感器

• 作者: 徐少辉 熊大元 王连卫 鲍钰胜
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 气敏传感器 二氧化锡(SnO2) 聚苯乙烯微球 微加热板 乙醇气体
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 564-569
• 页数: 6页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.07.0009

摘要

为了提高气敏传感器性能,设计并制备了玻璃基底的微加热板,包括加热电极和测试叉指电极(IDE),基于微加热板,利用聚苯乙烯(PS)微球作为掩模,使用多次光刻-剥离工艺制备三维多孔SnO2薄膜传感器,研究了有无微球和微球直径对于传感器气敏性能的影响.采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对多孔表面形貌进行观察和表征.通过测试不同条件制备的传感器对于乙醇气体的气敏性能,得到使用直径1 μm微球作为掩模制备的传感器性能更好,在约220℃的工作温度下,对体积分数为10-4的乙醇气体有3.5的灵敏度,并对传感器的重复性和线性度进行了测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐少辉	华东师范大学极化材料与器件实验室	9	16	2.0	3.0
2	王连卫	华东师范大学极化材料与器件实验室	16	71	5.0	8.0
3	鲍钰胜	华东师范大学极化材料与器件实验室	1	0	0.0	0.0
4	熊大元	华东师范大学极化材料与器件实验室	7	14	2.0	3.0