基于微带谐振器的微波微等离子体线性阵列的激励特性研究

• 作者: 廖斌 张秀秀
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 微波微等离子体线性阵列 微带谐振器 真空度 输入功率
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 微波等离子体
• 页码范围: 98-101
• 页数: 4页
• 分类号: O53
• 字数: 2085字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2019.06.16

摘要

本文基于微带线谐振器理论和耦合模理论,采用13单元微波微等离子体线性阵列源,研究了不同真空度、输入功率等对微波微等离子体线性阵列激励特性的影响.实验结果表明,微波微等离子体线性阵列的放电区域随着输入功率和真空度的减小而减小.这为小功率微波微等离子体线性阵列源的进一步研究提供基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖斌	华东师范大学信息学院电子系	33	128	6.0	9.0
2	张秀秀	华东师范大学信息学院电子系	1	0	0.0	0.0