硅基光波导谐振腔及其在陀螺传感中的应用

• 作者: 刘俊 刘文耀 唐军 张伟 田野
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振腔 光波导 谐振式光学陀螺 背散噪声 偏振漂移
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 542-547,579
• 页数: 7页
• 分类号: TN252|V241.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.07.006

摘要

光波导谐振腔是谐振式光学陀螺的核心传感器件,其性能直接决定了谐振式光学陀螺的精度.为了提高谐振式光学陀螺系统的精度,分别对用于谐振式光学陀螺的核心器件透射式谐振腔和反射式谐振腔进行了研究.首先选择适用于谐振式光学陀螺的透射式和反射式谐振腔,然后对光波导谐振腔进行高精度温度控制,实验测试比较了反射式谐振腔和透射式谐振腔在谐振式光学陀螺中的背散噪声和偏振噪声,比较发现透射式谐振腔引起的背散噪声约为同品质因数反射式谐振腔的1/2,透射式谐振腔温度变化引起陀螺的偏振漂移均值约为同品质因数反射式谐振腔的1/3,最后分别搭建了基于透射式和反射式谐振腔的光学陀螺系统,测得透射式谐振腔陀螺系统和反射式谐振腔陀螺系统的零偏稳定性分别为0.021°/s和0.048°/s,最终确定了谐振式光学陀螺采用透射式谐振腔的方案.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	张伟	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	53	92	5.0	6.0
3	唐军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	64	114	5.0	9.0
4	刘文耀	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	13	3	1.0	1.0
5	田野	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	7	9	2.0	2.0