钼粉粒径对钼钛薄膜性能的影响

• 作者: 刘仁智 安耿 席莎 李晶 赵虎 韩强
• 来源期刊: 中国钼业
• 学科: 工学
• 关键词: 钼粉 钼钛靶材 磁控溅射 微观组织
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 金属加工
• 页码范围: 50-53
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.4+12
• 字数: 3047字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13384/j.cnki.cmi.1006-2602.2019.06.010

摘要

将钼钛合金靶材在同一溅射设备、同一溅射工艺下进行磁控溅射实验,研究不同粒径钼粉原料对靶材溅射薄膜性能的影响.通过XRD、SEM和直流四探针法分析结果表明,颗粒大小均匀、无团聚的大粒径钼粉制备出的靶材,其溅射薄膜性能更优异.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李晶	金堆城钼业股份有限公司技术中心	32	150	7.0	10.0
2	刘仁智	金堆城钼业股份有限公司技术中心	46	221	7.0	11.0
3	韩强	金堆城钼业股份有限公司技术中心	11	64	5.0	7.0
4	安耿	金堆城钼业股份有限公司技术中心	37	186	7.0	11.0
5	赵虎	金堆城钼业股份有限公司技术中心	26	60	4.0	5.0
6	席莎	金堆城钼业股份有限公司技术中心	15	8	2.0	2.0